주요 생산 실적
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주요 생산 실적 key production performance
■ 디스플레이 및 반도체 생산에 필요한 자동화 설비 및 검사 설비 개발 및 설계 제작
디스플레이 및 반도체 공정에서 필요한 각종 자동화설비 및 검사설비를 사용자의 요구에 부합되도록 개발 및 설계, 제작을 진행하고 있으며 실적은 하기와 같습니다.
반도체 사업
- 반도체전공정(CVD)장비內 Wafer미세조정 유닛
디스플레이 사업
- LCD 6세대 분판 Glass Lami 공정 검사설비
- QD-OLED 초대형TV Glass 표면 검사 설비
- Flexible Bending 초정밀 Dispensing 설비
- Plastic Window 외부 Coating 설비
- 8.5G Cassette Oven Chamber (고진공, 5x10-7torr)
- VCD, HVCD 5G Chamber (저진공, 5x10-3torr)
■ 2차전지 생산에 필요한 자동화 설비 및 검사 설비 개발 및 설계 제작
2차전지 생산 공정에서 필요한 각종 자동화설비 및 검사설비를 사용자의 요구에 부합되도록 개발 및 설계, 제작을 진행하고 있으며 실적은 하기와 같습니다.
- 2차전지 소재 초정밀 두께 측정 검사기 (50nm)
- 2차전지 소재 정밀 두께 측정 검사기 (1μm)
- 2차전지 Notching Vision 검사기 (전극 절연 치수,표면 검사)